1900°C Rapid Thermal Process furnace

Four de recuit rapide 1900°C

Notre savoir faire en ingénierie concernant le chauffage, la gestion des atmosphères, la gestion du vide, les transferts mécaniques, les automatismes et la régulation nous permettent de vous apporter une réponse parfaitement adaptée à votre besoin. Découvrez notre Four de recuit rapide 1900°C. Nous nous adaptons à vos attentes en vous présentant de nombreux modèles destinés aux laboratoires de recherche ou à la production industrielle.

Tous nos équipements sont conformes CE et sont fabriqués avec des matériaux en conformité avec la législation en vigueur.

 

Caractéristiques
Options
Caractéristiques (Fr) Specifications (Eng)

Atmosphère de travail

Process

Air

Atmosphère contrôlé

vide 

*selon température et chambre process

Air 

Controlled atmosphere

vacuum

*depending on temperature and process chamber

Température Maximale

Maximum processing temperature

Jusqu’à 2200°C

Up to 2200°C

Chambre Process selon température

Chamber process

Métallique, quartz, SiC, céramique ou graphite

Metallic, quartz, SiC, ceramic or graphite

Type de gaz process possible*

Process gas type*

 

*sous réserve compatibilité matériaux, gaz, température

*subject to material, gas and temperature compatibility

Air, 

azote N2, 

argon Ar, 

Hydrogène H2

 

Autre gaz réducteur sur demande

Air, 

Nitrogen N2, 

argon Ar, 

hydrogen H2

 

Other reducing gases on request

Pression chambre process possible

Process chamber pressure

Balayage gazeux en légère surpression

Régulation de pression inférieur à la Pression Atmosphérique

Sous vide

Gas sweep in slight overpressure

Pressure regulation below atmospheric pressure

Vacuum

Dimensionnement volume utile

Sizing

Jusqu’à 50L

Up to 50L

Volume autre

Further sizing

Sur consultation
Upon request

Déplacement de la cloche

Top Hat movement

Manuel ou motorisé
Manual or motorised

Déplacement du four

Furnace movement

Manuel ou motorisé

Manual or motorised

Inclus

Included

Régulateur programmateur classe 0.1

Programmable controller class 0.1

Sécurité

Security

Détection de surchauffe

Overheating detection

Ouverture porte

Furnace opening

Caractéristiques (Fr) Specifications (Eng)

Multiprogramme + enregistreur

Multiprogram + recorder

Supervision

HM sur pc standard

HCI on standard PC

Autres options

Gaz sec ou humide : régulation point de rosée

Dry or wet gas: dew point control

Exemples

 

 Four de recuit rapide 1900°C

 

Application : procédé recuit rapide sur wafer SiC
Atmosphère de travail

process

Vide secondaire ou gaz neutre High vacuum or neutral gas
Température Maximale

Maximum temperature

1900°C 1900°C
Montée en température

Temperature rise speed

Jusqu’à 2°C/s Up to 2°C/s
Enceinte

Chamber

Métallique refroidie Cooled metal
Isolation et élément chauffant

Insulation & heating element

Graphite Graphite
Dimension zone utile (Ø x H mm)

Sizing

150 x 50 mm 150 x 50 mm
Déplacement de la cloche

Top hat movement

Motorisé Motorised
Déplacement du four

Furnace movement

Motorisé Motorised
Pilotage

Control

IHM sur pc standard HCI on standard PC
1900°C Rapid Thermal Process furnace

Le groupe

 

Nous avons la capacité de proposer à nos clients une approche « de bout en bout » grâce à nos compétences techniques et à l’expérience de nos équipes.

Une proposition de valeur 360° en matière d’équipements thermiques pour les laboratoires et les industriels

 

Des solutions d’équipements standards dédiés aux laboratoires et aux industriels

 

Une solution technologique unique et de pointe dédiée à la phase d’oxydation intervenant dans la fabrication des VCSEL​

 

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